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SEM能譜原理（sem能譜儀）

發(fā)布時(shí)間：2023-04-07 12:55:09 稿源：創(chuàng)意嶺閱讀： 130

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本文目錄:

1、能譜在TEM和SEM中的空間分辨率是否一樣
2、SEM的面掃描和先掃描有什么區(qū)別，打能譜是什么作用
3、SEM -EDS是什么意思小木蟲
4、sem能譜有哪些元素測(cè)不了

SEM能譜原理（sem能譜儀）

一、能譜在TEM和SEM中的空間分辨率是否一樣

SEM，全稱為掃描電子顯微鏡，又稱掃描電鏡，英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM，全稱為透射電子顯微鏡，又稱透射電鏡，英文名Transmission Electron Microscope.

區(qū)別：

SEM的樣品中被激發(fā)出來的二次電子和背散射電子被收集而成像. TEM可以表征樣品的質(zhì)厚襯度，也可以表征樣品的內(nèi)部晶格結(jié)構(gòu)。TEM的分辨率比SEM要高一些。
SEM樣品要求不算嚴(yán)苛，而TEM樣品觀察的部分必須減薄到100nm厚度以下，一般做成直徑3mm的片，然后去做離子減薄，或雙噴（或者有厚度為20~40μm或者更少的薄區(qū)要求）。
TEM可以標(biāo)定晶格常數(shù)，從而確定物相結(jié)構(gòu)；SEM主要可以標(biāo)定某一處的元素含量，但無法準(zhǔn)確測(cè)定結(jié)構(gòu)。

二、SEM的面掃描和先掃描有什么區(qū)別，打能譜是什么作用

面掃是整個(gè)試件的表面，包含線掃，能譜可以看出元素分布含量

三、SEM -EDS是什么意思小木蟲

SEM是scanning electron microscope的縮寫，中文即掃描電子顯微鏡，掃描電子顯微鏡的設(shè)計(jì)思想和工作原理，早在1935年便已被提出來了。1942年，英國首先制成一臺(tái)實(shí)驗(yàn)室用的掃描電鏡，但由于成像的分辨率很差，照相時(shí)間太長，所以實(shí)用價(jià)值不大。經(jīng)過各國科學(xué)工作者的努力，尤其是隨著電子工業(yè)技術(shù)水平的不斷發(fā)展，到1956年開始生產(chǎn)商品掃描電鏡。近數(shù)十年來，掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中，促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。

EDS, an HP company 是全球信息服務(wù)業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者之一，以協(xié)助全球客戶提高企業(yè)的運(yùn)營績效。另有EDS (能譜，Energy Dispersive Spectrometer)，EDS電氣設(shè)計(jì)軟件包

四、sem能譜有哪些元素測(cè)不了

具有磁性的材料不能做SEM.

采用磁透鏡進(jìn)行聚焦成像。如果被測(cè)試樣磁性較強(qiáng)，輕則干擾成像，重則被測(cè)試樣粉末被吸附到鏡頭上，損壞儀器。

理論上，磁性是物質(zhì)的一種屬性，任何物質(zhì)都有磁性。因此要求試樣完全沒有磁性是不可能的，我們只能要求其磁性小于某一范圍。如果是熱發(fā)射sem磁性要求要低一些，如果是場發(fā)射sem，則要求就要嚴(yán)格的多。比如鐵，鈷，鎳為鐵系元素，其化合物磁性較強(qiáng)，因而一般不能直接測(cè)，所以要將有磁性的材料進(jìn)行消磁處理就可以了。

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